Linear micro actuators on the basis of different actuation principles: electrostatic, electromagnetic and shape memory effect
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043652 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | FSRM(Swiss Foundation for Research in Microtechnology)-Course Microactuators, Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe, 8.-9.Juni 1998 |