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Linear micro actuators on the basis of different actuation principles: electrostatic, electromagnetic and shape memory effect

Kohl, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230043652
HGF-Programm 41.06.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk FSRM(Swiss Foundation for Research in Microtechnology)-Course Microactuators, Forschungszentrum Karlsruhe, Karlsruhe, 8.-9.Juni 1998
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