KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen

Ruprecht, R.; Saile, V.; Hausselt, J.H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230043841
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Grundlagen der Reinraumtechnik, München, 15.-16.Juni 1998 Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 2.-3.Dezember 1998 2.Rosenheimer Kunststoffsymposium, Reinraumtechnik in der Kunststoffverarbeitung, Rosenheim, 27.-28.Januar 1999 Gundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 30.November - 1.Dezember 1999
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page