Fertigung von Komponenten der Mikrosystemtechnik unter Reinraumbedingungen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043841 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Grundlagen der Reinraumtechnik, München, 15.-16.Juni 1998 Grundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 2.-3.Dezember 1998 2.Rosenheimer Kunststoffsymposium, Reinraumtechnik in der Kunststoffverarbeitung, Rosenheim, 27.-28.Januar 1999 Gundlagen der Reinraumtechnik und deren Anwendung in der Praxis, Essen, 30.November - 1.Dezember 1999 |