Simultan doppelseitige Beschichtung von 3-Zoll-Wafern mit HTSL-Filmen
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Nukleare Festkörperphysik (INFP) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043846 |
| HGF-Programm | 34.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 6. Statusseminar 'Supraleitung und Tieftemperaturtechnik', Gelsenkirchen, 19.-20.Oktober 1998 |