Reactive accelerated cluster erosion (RACE) for nanofabrication
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043872 |
| HGF-Programm | 52.01.16 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Matt, S. et al. [Hrsg.] European Research Conference on Cluster-surface Interactions, Cargese, F, May 23-28, 1998 Book of Abstracts, 1998 |