Stromlose Abscheidung als Verfahrensvariante für die Fertigung metallischer Mikrostrukturen

Schanz, G.; Thies, A.; Walch, E.; Konys, J.; Hausselt, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1998
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230043884
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Kongress 'Werkstoffwoche', München, 12.-15.Oktober 1998