| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230043891 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortrag: Design, Test and Microfabrication of MEMS/MOEMS, Paris, March 30-April 1, 1998 |