Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1998 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230043891 |
HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Vortrag: Design, Test and Microfabrication of MEMS/MOEMS, Paris, March 30-April 1, 1998 |