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Recent developments in the fabrication of LIGA microcomponents using alignment methods

Bacher, W.; Mohr, J.; Bade, K.; Heckele, M.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1998
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230044174
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Internat.Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Luzern, CH, October 5-8, 1998
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