Recent developments in the fabrication of LIGA microcomponents using alignment methods
Bacher, W.; Mohr, J.; Bade, K.
; Heckele, M.
; Heckele, M.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044174 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Fall Meeting of the Photo Chemical Machining Institute (PCMI), Luzern, CH, October 5-8, 1998 |