Mikroanalytische Charakterisierung reaktiv gesputterter Carbonitrid-Filme
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044289 |
| HGF-Programm | 52.01.54 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 10.Arbeitstagung Angewandte Oberflächenanalytik (AOFA10), Kaiserslautern, 6.-10.September 1998 |