Variation der Ionenenergie und des Ionen- zu Neutralteilchenverhältnisses magnetrongesputterter c-BN:C-Schichten
Ulrich, S.; Kratzsch, A.; Leiste, H.; Stüber, M.; Holleck, H.; Schlossmacher, P.; Binder, J.; Schild, D.
; Westermeyr, S.; Becker, P.; Oechsner, H.
; Westermeyr, S.; Becker, P.; Oechsner, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) Institut für Nukleare Entsorgung (INE) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044689 |
| HGF-Programm | 33.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 5.c-BN-Expertentreffen, Ulm, 17.-19.Juni 1998 |