| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1998 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044726 |
| HGF-Programm | 41.06.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 3.Statuskolloquium des PMT, Karlsruhe, 2.-3.April 1998 (Poster) |