LIGA-made micro-optical distance sensor with glass fibre as imaging lens

Ruther, P.; Nakajima, H.; Mohr, J.; Saenger, S.; Usami, T.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230044921
HGF-Programm	41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	9.Internat.Messe mit Kongreß für Sensoren, Meßaufnehmer und Systeme (SENSOR 99), Nürnberg, 18.-20.Mai 1999