Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230044960 |
HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Micromachining and Microfabrication, Paris, F, March 30 - April 1, 1999 |