Mikrosystemtechnik am Forschungszentrum Karlsruhe. Von der Forschung zu den Produkten
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044970 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Paul-Scherrer-Institut, Villigen, CH, 18.Dezember 1998 |