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Microfluidic sensors and actuators from polymers fabricated by the AMANDA process

Schomburg, W.K.; Ahrens, R.; Bacher, W.; Martin, J.; Rummler, Z.; Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230044973
HGF-Programm 41.06.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
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