Microfluidic sensors and actuators from polymers fabricated by the AMANDA process

Schomburg, W. K.; Ahrens, R.; Bacher, W.; Martin, J.; Rummler, Z.; Saile, V.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230044973
HGF-Programm	41.06.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Transducers '99 : The 10th Internat.Conf.on Solid-State Sensors and Actuators, Sendai, J, June 7-10, 1999