Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230044976 |
HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | MEMS '99 : 12th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Orlando, Fla., January 17-21, 1999 |