| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230044976 |
| HGF-Programm | 41.03.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | MEMS '99 : 12th Annual Internat.Workshop on Micro Electro Mechanical Systems, Orlando, Fla., January 17-21, 1999 |