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Mikrooptische Systeme auf der Basis der LIGA-Technik

Mohr, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Deutsch
Identifikator KITopen-ID: 230045037
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 213.WE-Heraeus-Seminar, Bad Honnef, 23.Februar 1999
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