Mikrooptische Systeme auf der Basis der LIGA-Technik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045037 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 213.WE-Heraeus-Seminar, Bad Honnef, 23.Februar 1999 |