High-aspect-ratio microfabrication by hot embossing at the Institute for Microstructure Technology (IMT)
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045204 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Louisiana Tech University, Ruston, La., 17.Februar 1999 |