Study of the development behavior of irradiated foils and microstructures
Meyer, P.
; El-Kholi, A.; Mohr, J.
; El-Kholi, A.; Mohr, J.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045208 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999 |