Study of the development behavior of irradiated foils and microstructures

Meyer, P.; El-Kholi, A.; Mohr, J.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230045208
HGF-Programm	41.01.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999