Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2003 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230045242 |
HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Kisarazu, J, June 13-15, 1999 Book of Abstracts |