Mold insert fabrication and microreplication of high aspect ratio microstructures using DEM technique
Chen, D.; Zhao, X.; Wang, Z.
; Heckele, M.; Dittrich, H.; Bacher, W.
; Heckele, M.; Dittrich, H.; Bacher, W.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045244 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999 |