Low-cost production of microcomponents by surface micromachining and molding - the AMANDA process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045247 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Beyond Batch-Conf., San Francisco, Calif., July 15-16, 1999 |