Silicon carbonitride thin films - preparation and characterization

Bruns, M.; Lutz, H.; Link, F.; Baumann, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230045428
HGF-Programm	41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF '99), San Diego, Calif., April 12-16, 1999