Economical production technology for oxidic multi-layer systems with a gas sensor microarray as an example
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045501 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF '99), San Diego, Calif., April 12-16, 1999 |