Passive alignment and hybrid integration of active and passive optical components on a microoptical LIGA-bench
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045582 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS 99), Mainz, August 30 - September 1, 1999 |