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Micro optical wavelength filter realized using LIGA-technology

Wengelink, J.; Mohr, J.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230045583
HGF-Programm 41.07.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems (MOEMS 99), Mainz, August 30 - September 1, 1999
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