Preceramic polymers as negative resist material. (A new route to ceramic micro components)
Hanemann, T.; Schulz, M.
; Hausselt, J. H.
; Hausselt, J. H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045734 |
| HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Polymer and Materials Research Symp., Bayreuth, 11.-13.April 1999 |