Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230045736 |
HGF-Programm | 41.02.02 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | HARMST'99 - Workshop and Exhibition on High Aspect Ratio Microstructure Technology, Chiba, J, June 13-15, 1999 |