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Innovative molding technologies for the fabrication of components for microsystems

Piotter, V.; Benzler, T.; Hanemann, T.; Wöllmer, H.; Ruprecht, R.


Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230045739
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Micromachining and Microfabrication, Paris, F, March 30 - April 1, 1999
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