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Microsystem technology related activities at the Forschungszentrum Karlsruhe - a survey

Bacher, W.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Publikationsjahr 1999
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230045918
HGF-Programm 41.01.03 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk Vortr.: Tokyo Institute of Technology, Yokohama, J, 3.August 1999
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