Microsystem technology related activities at the Forschungszentrum Karlsruhe - a survey
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230045918 |
| HGF-Programm | 41.01.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Tokyo Institute of Technology, Yokohama, J, 3.August 1999 |