Innovations in molding technologies for microfabrication

Piotter, V.; Benzler, T.; Hanemann, T.; Norajitra, P.; Ruprecht, R.; Hausselt, J. H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230046079
HGF-Programm	41.02.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	SPIES's Internat.Symp.on Micromachining and Microfabrication 99, Santa Clara, Calif., September 20-22, 1999