A simple hard X-ray filtering system for the deep X-ray lithography process
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230046281 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Micro and Nano Engineering 99 (MNE'99), Roma, I, September 21-23, 1999 |