| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 1999 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230046287 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems (MICRO/MEMS'99), Royal Pines Resort, AUS, October 27-29, 1999 |