Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 1999 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230046287 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Internat.Symp.on Microelectronics and Micro-Electro-Mechanical Systems (MICRO/MEMS'99), Royal Pines Resort, AUS, October 27-29, 1999 |