Vergleich magnetrongesputterter Kohlenstoff-, Bornitrid- und Kohlenstofflegierter Bornitridschichten

Ulrich, S.; Kratzsch, A.; Leiste, H.; Stüber, M.; Holleck, H.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	1999
Sprache	Deutsch
Identifikator	KITopen-ID: 230046793
HGF-Programm	42 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	6.c-BN Expertentreffen des trinationalen DFG-Forschungsschwerpunkts DACH 'Superharte Materialien', Wien, A, 14.-15.Juni 1999