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The LIGA process and some specific applications

Wallrabe, U.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230047031
HGF-Programm 41.07.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Precision Engineering 21, Technical Forum, Singapore, SGP, March 22-24, 2000
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