Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230047031 |
HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | Precision Engineering 21, Technical Forum, Singapore, SGP, March 22-24, 2000 |