The LIGA process and some specific applications
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047031 |
| HGF-Programm | 41.07.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Precision Engineering 21, Technical Forum, Singapore, SGP, March 22-24, 2000 |