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Status of thick DNQ-Novolak and SU-8 photoresist processing

Schulz, J.; Chung, S.J.; Hein, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230047033
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 3rd Symp.on Microsystems in Practice, Utrecht, NL, January 20-21, 2000
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