Status of thick DNQ-Novolak and SU-8 photoresist processing
Schulz, J.
; Chung, S. J.; Hein, H.
; Chung, S. J.; Hein, H.| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047033 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 3rd Symp.on Microsystems in Practice, Utrecht, NL, January 20-21, 2000 |