Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
Publikationstyp | Vortrag |
Publikationsjahr | 2000 |
Sprache | Englisch |
Identifikator | KITopen-ID: 230047033 |
HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
Erscheinungsvermerk | 3rd Symp.on Microsystems in Practice, Utrecht, NL, January 20-21, 2000 |