Microstructures and Systems fabricated by X-ray lithography (LIGA-process)

Mohr, J.; El-Kholi, A.; Hein, H.; Krippner, P.; Pantenburg, F. J.; Saile, V.; Wallrabe, U.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2000
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230047172
HGF-Programm	41.07.02 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	KSRS 2000 Conf. (Kurchatov Synchrotron Radiation Source), Moskva, Russia, March 9-10, 2000