Preparation of silicon carbonitride phases by means of RF magnetron sputtering and ion implantation
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047396 |
| HGF-Programm | 41.05.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | 27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000 |