KIT | KIT-Bibliothek | Impressum | Datenschutz

Preparation of silicon carbonitride phases by means of RF magnetron sputtering and ion implantation

Bruns, M.; Lutz, H.; Link, F.; Baumann, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230047396
HGF-Programm 41.05.01 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000
KIT – Die Forschungsuniversität in der Helmholtz-Gemeinschaft
KITopen Landing Page