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Trimming the thickness gradients of gas permeable SiO₂ layers with different IBAD conditions

Frietsch, M.; Goschnick, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230047454
HGF-Programm 41.05.01; LK 01
Erscheinungsvermerk 27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000
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