| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047458 |
| HGF-Programm | 41.06.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Internat.Mechanical Engineering Congress and Exposition, Orlando, Fla., November 5-10, 2000 |