Lithographische Verfahren in der Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047508 |
| HGF-Programm | 41.01.01 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | VDI-Seminar Mikrosystemtechnik für den Maschinenbau, Mainz, 4.April 2000 |