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Materials for molding processes in microsystem technology

Piotter, V.; Gietzelt, T.; Hanemann, T.; Ruprecht, R.; Hausselt, J.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230047805
HGF-Programm 41.01.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Micro Materials Conf.'MicroMat 2000', Berlin, April 17-19, 2000
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