Galvanische und außenstromlose Verfahren zur Herstellung von Mikrostrukturen und Mikrobauteilen aus Metall
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230047911 |
| HGF-Programm | 41.01.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Vortr.: Universität Leipzig, 16.Juni 2000 |