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Synchrotron radiation at work: fabrication of micro-components and -systems

Saile, V.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Mikrostrukturtechnik (IMT)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230048240
HGF-Programm 41.01.01; LK 01
Erscheinungsvermerk Vortr.: Stanford Synchrotron Radiation Laboratory, Stanford University, Calif., 11.September 2000
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