| Zugehörige Institution(en) am KIT | Projekt Mikrosystemtechnik (PMT) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230048268 |
| HGF-Programm | 41.98.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Commercialization of Microsystems, Santa Fe, N.M., September 5-11, 2000 |