A rapid depth profiling method to examine SiO₂ coatings with a thickness gradient on a gas sensor multilayer system
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Englisch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230048397 |
| HGF-Programm | 41.05.03 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | Asian and Pacific Surface and Interface Analysis Conf. (APSIA), Beijing, China, October 23-26, 2000 |