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PROXI: mass production of oxidic multi-layer systems for gas sensor micro arrays

Fuchs, J.; Benz, J.; Goschnick, J.; Bruns, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Instrumentelle Analytik (IFIA)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen-ID: 230048401
HGF-Programm 41.08.04 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk 7th Internat.Conf.on Plasma Surface Engineering, Garmisch-Partenkirchen, September 17-21, 2000
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