Mess- und Prüftechniken für die Mikrosystemtechnik
| Zugehörige Institution(en) am KIT | Institut für Materialforschung (IMF) |
| Publikationstyp | Vortrag |
| Publikationsjahr | 2000 |
| Sprache | Deutsch |
| Identifikator | KITopen-ID: 230048528 |
| HGF-Programm | 41.98.02 (Vor POF, LK 01) |
| Erscheinungsvermerk | FiF-Workshop, Karlsruhe, 29.März 2000 |