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Intrinsic stress reduction of magnetron sputtered graded carbon films with TiC additions

Bauer, C.; Leiste, H.; Stüber, M.; Ulrich, S.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230048742
HGF-Programm 41.02.03; LK 01
Erscheinungsvermerk Werkstoffwoche 2000, München, 25.-28.September 2000
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