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Magnetron-sputter deposition of metastable thin films in the ternary system chromium-aluminium-nitrogen

Ulrich, S.; Kunisch, C.; Leiste, H.; Loos, R.; Stüber, M.; Holleck, H.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230048747
HGF-Programm 42; LK 01
Erscheinungsvermerk 27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000
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