Ion bombardement induced phase transition in magnetron sputtered chromium carbide thin films from an amorphous to a crystalline structure

Ulrich, S.; Bauer, C.; Lattemann, M.; Leiste, H.; Loos, R.; Niederberger, L.; Sell, K.; Stüber, M.; Holleck, H.; Sattel, S.; Ehrhardt, H.; Schwan, J.; Edinger, M.

Ion bombardement induced phase transition in magnetron sputtered chromium carbide thin films from an amorphous to a crystalline structure

Ulrich, S.; Bauer, C.; Lattemann, M.; Leiste, H.; Loos, R.; Niederberger, L.; Sell, K.; Stüber, M.; Holleck, H.; Sattel, S.; Ehrhardt, H.; Schwan, J.; Edinger, M.

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Zugehörige Institution(en) am KIT	Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp	Vortrag
Publikationsjahr	2000
Sprache	Englisch
Identifikator	KITopen-ID: 230048748
HGF-Programm	42 (Vor POF, LK 01)
Erscheinungsvermerk	27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000

Repository KITopen

Ion bombardement induced phase transition in magnetron sputtered chromium carbide thin films from an amorphous to a crystalline structure