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Ion bombardement induced phase transition in magnetron sputtered chromium carbide thin films from an amorphous to a crystalline structure

Ulrich, S.; Bauer, C.; Lattemann, M.; Leiste, H.; Loos, R.; Niederberger, L.; Sell, K.; Stüber, M.; Holleck, H.; Sattel, S.; Ehrhardt, H.; Schwan, J.; Edinger, M.



Zugehörige Institution(en) am KIT Institut für Materialforschung (IMF)
Publikationstyp Vortrag
Jahr 2000
Sprache Englisch
Identifikator KITopen ID: 230048748
HGF-Programm 42; LK 01
Erscheinungsvermerk 27th Internat.Conf.on Metallurgical Coatings and Thin Films (ICMCTF 2000), San Diego, Calif., April 10-14, 2000
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